晶圓非接觸搬運(yùn)卡盤特點(diǎn)：

  
（使用角度為固定角度，使用角度的變更必須改變主體部） 
由于導(dǎo)向制動(dòng)器具有平緩的錐度，所以在點(diǎn)上接觸晶片邊緣。 
使用防靜電聚碳酸酯的導(dǎo)向環(huán)，可以通過目視確認(rèn)定位和吸引狀態(tài)。 
通過采用本體部導(dǎo)電性尼龍樹脂實(shí)現(xiàn)了輕量化。 
兩面都有圖案印刷，并且能對(duì)應(yīng)50μm的薄處理難的晶片。 
角型等對(duì)象物合起的特別訂購(gòu)設(shè)計(jì)品也對(duì)應(yīng)。