價(jià)格
￥6,759.00
型號(hào)
MUH3000
品牌
KASHIYAMA柏山
所在地
暫無
更新時(shí)間
2025-03-06 11:32:36
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北崎供應(yīng)KASHIYAMA柏山MUH3000干式真空泵
北崎供應(yīng)KASHIYAMA柏山MUH3000干式真空泵
鉬系列的特點(diǎn)
進(jìn)一步的實(shí)現(xiàn)低電力化
新的外觀設(shè)計(jì)
新建過程耐性的繼承與進(jìn)化
SEMI/CE/NRTL對(duì)應(yīng)各規(guī)格
世界*小級(jí)別的足跡
提高工藝公差和節(jié)能
強(qiáng)/省(過程對(duì)性和節(jié)能)
工藝耐性和節(jié)能性能進(jìn)一步進(jìn)化在蝕刻等中等工藝中，實(shí)現(xiàn)世界N0.1的低功耗
小型(小型化)
20000L/min クラスで當(dāng)社比 З2% のフットプリントを削減
安全性(安全性)
符合SEMI/CE/NRTL各標(biāo)準(zhǔn)的高可靠性設(shè)計(jì)(MUH不適用于NRTL)
| 型號(hào)*1 | MUP600E | MUP1200E | MUP1800E | MUH3000 | |
|
*抽速 [L/min]*2 *6 |
10,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | |
|
極限壓力 [Pa] *2 |
0.5 | ||||
| 電源電壓 （50/60Hz） | 三相 AC200~220V*5 | ||||
| N2流速 [SLM] | 0~45 | 0~60 | |||
| 冷卻水流量 [L/min] | 2 | ||||
| 功耗[kW]*3 | 0.8 | 0.95 | 1.1 | 1.6 | |
| 外形尺寸 [mm]*4 | L | 695 | 850 | 910 | |
| W | 285 | 380 | 420 | ||
| H | 850 | 950 | 900 | ||
*1） 值為不使用加熱器且未使用 N2 吹掃時(shí)的值。
*2） 這是達(dá)到運(yùn)行時(shí)的功耗的近似值。
*3） 包裝尺寸。 有關(guān)詳細(xì)尺寸，請(qǐng)索取外部圖紙。
*4） *抽速為近似值。
*5） 對(duì)于本電源以外的要求，請(qǐng)單獨(dú)與我們聯(lián)系。
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北崎供應(yīng)KASHIYAMA柏山MUH3000干式真空泵
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