PDC200/210/510等離子清洗機
高頻輸出 300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型),電極尺寸 250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號,調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對應(yīng)多種用途。
用途
CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
去除有機膜和金屬氧化膜
印刷電路基板的干式清洗
界面活性處理
LED封裝
特征
DP模式(PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配)
RIE模式
均勻性高的電極構(gòu)造
操作簡單的觸摸屏控制器
規(guī)格
型號 |
PDC200 |
PDC210 |
PDC510 |
等離子模式 |
RIE(DP模式選配) |
RIE/DP |
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電極構(gòu)造 |
平行平板(固定) |
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高頻輸出 |
Max300W |
Max500W |
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頻率 |
13.56MHz |
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控制·顯示 |
液晶觸摸屏 |
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反應(yīng)室尺寸 |
W400×D250×H150mm |
W500×D300×H200mm |
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電極尺寸 |
W250×D170mm |
W400×D200mm |
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反應(yīng)室材質(zhì) |
鋁 |
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反應(yīng)氣體 |
2系統(tǒng)(Ar、O2) |
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填充氣體 |
N2或干燥空氣 |
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反應(yīng)氣體流量控制 |
流量計 |
聚合控制器 |
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真空泵 |
另行選配 |
油泵(約345L/分)標(biāo)配 |
油泵(約500L/分)標(biāo)配 |
氣體導(dǎo)入口 |
反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個 |
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外形尺寸 |
W540×D600×H600mm |
W540×D600×H600mm |
W700×D700×H1285mm |
重量 |
約100kg |
約105kg |
約180kg |
電源 |
單相 AC100V 10A |
三相AC200V 6A |
三相AC200V 8A |
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