進口供應ENTEGRIS恩特格里斯 Wafergard? C-Seal 集成氣體過濾器

發(fā)布時間：2025/03/20 09:06:18 發(fā)布廠商：北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司 >> 進入該公司展臺

Wafergard? SL 1.125“ C-Seal 集成氣體過濾器
Wafergard? C-Seal 集成過濾器將*的過濾器與*小的集成設計相結合，顯著減少氣體面板的占地面積，并提供*工藝保護。
與 1.125“ C-Seal 集成接口兼容，可*限度地減少排放并提供*的耐腐蝕性
減小了內(nèi)部體積，提高了二次側(cè)的清潔度
潔凈室制造和包裝
可選擇鎳或不銹鋼膜
應用Wafergard? SL 1.125“ C-Seal 集成氣體過濾器應用燃氣面板
高純氣體管線
高溫應用
脈動應用
惰性氣體、氫化物氣體、CO2 用于氣體的不銹鋼過濾器，用于惰性和反應性氣體的鎳過濾器

產(chǎn)品規(guī)格

材料	Filter 部分：	NF 型 - 燒結鎳 SF 型 - 燒結不銹鋼
?	外殼，底塊：	316L 不銹鋼（電解拋光，符合 SEMI F20 標準）?
入口/出口連接	Surface Line 1.125“ C 型密封	?
顆粒去除尺寸	> 0.0015 微米	?
內(nèi)表面粗糙度	< 5 μin Ra	?
He 泄漏率	值：2 x 10-10?cc/秒	測試值：1 x 10-9?cc/秒
二級清潔度	粒子*	大于 0.01 μm 且小于或等于 0.03 pcs/L 的顆粒
?	揮發(fā) 物**	?H2O、O2，THC 發(fā)射量低于檢測限（由于室溫下的 RGA 和 FID）
顆粒去除性能	NF 型 - 所有顆粒為 99.999999999 % 或更高（*容易通過的顆粒尺寸）
?	SF 型 - 所有顆粒的 99.9999% 或更多（*容易通過的顆粒尺寸）
使用條款	常壓	小于 1 MPa @ 20°C （適用于日本的高壓氣體安全法。如果您想使用過 1 MPa，請聯(lián)系我們。 )
?	*允許正/反向壓差	1 MPa @ 23 °C
?	?	NF Mini、NF Mini XL：0.8 MPa @ 23 °C
?	*工作溫度	惰性氣體：400 °C
?	?	腐蝕性和反應性氣體：50 °C
* 顆粒清潔度（根據(jù) SEMASPEC 測試方法）：顆粒脫落（#93021511A-STD） ** 揮發(fā)物清潔度（根據(jù) SEMASPEC 測試方法）：THC （#90120396B-STD）、水分（#90120397B-STD）、氧氣（#90120398B-STD）

北崎8年，日本會社20年，專注領域如下：
儀器相關：
山高SANKO（代理）、東機產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）
備件設備相關：
柴田SIBATA(代理）、壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

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Wafergard? C-Seal

集成氣體過濾器

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