EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT2400M
EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT2400M
渦輪分子泵是一種高真空泵,利用高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片與氣體分子碰撞,將氣體分子從進(jìn)氣口推向排氣口,從而實現(xiàn)高真空的獲取。它由德國物理學(xué)家貝克(W. Becker)于1958年發(fā)明,是現(xiàn)代高真空和高真空技術(shù)中的核心設(shè)備。渦輪分子泵通常與前置泵(如干式泵或旋片泵)結(jié)合使用,以在寬壓力范圍內(nèi)實現(xiàn)高效抽氣。渦輪分子泵以其高真空性能、無油污染和高效抽氣的特點,成為現(xiàn)代高真空和高真空技術(shù)中不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備。它在半導(dǎo)體制造、科學(xué)研究、航空航天和光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,渦輪分子泵正朝著更高效率、更智能化和更環(huán)保的方向發(fā)展,為未來高科技產(chǎn)業(yè)提供更強(qiáng)大的支持。
渦輪分子泵特點
高轉(zhuǎn)速:渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速通常高達(dá)每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn),甚至過10萬轉(zhuǎn),以確保氣體分子能夠被有效捕捉和排出。
無油污染:與油封式真空泵不同,渦輪分子泵在運行過程中無需油液潤滑,避免了油蒸氣對真空環(huán)境的污染,特別適合高潔凈度要求的應(yīng)用。
寬壓力范圍:渦輪分子泵能夠在高真空(10^-3 Pa至10^-10 Pa)范圍內(nèi)高效工作,與前置泵配合可實現(xiàn)從大氣壓到高真空的抽氣。
EBARA(荏原制作所)是日本*的工業(yè)設(shè)備制造商,成立于1912年,部位于東京。憑借百年技術(shù)積淀,荏原以“為地球環(huán)境和社會基礎(chǔ)設(shè)施提供創(chuàng)新解決方案”為使命,業(yè)務(wù)涵蓋水泵、風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、環(huán)保設(shè)備及能源系統(tǒng)等領(lǐng)域,產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術(shù)聞名全球。
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