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SEN日森

紫外線清洗，紫外光清洗的工作原理

紫外光清洗技術(shù)是利用有機化合物的光敏氧化作用達到去除黏附在材料表面上的有機物質(zhì)，經(jīng)過光清洗后的材料表面可以達到“原子清潔度”。更詳盡的講：UV光源發(fā)射波長為185nm和254nm的光波，具有很高的能量,當(dāng)這些光子作用到被清洗物體表面時,由于大多數(shù)碳氫化合物對185nm波長的紫外光具有較強的吸收能力,并在吸收185nm波長的紫外光的能量后分解成離子、游離態(tài)原子、受激分子和中子，這就是所謂光敏作用。空氣中的氧氣分子在吸收了185nm波長的紫外光后也會產(chǎn)生臭氧和原子氧。臭氧對254nm波長的紫外光同樣具有強烈的吸收作用,臭氧又分解為原子氧和氧氣。其中原子氧是極活潑的,在它作用下,物體表面上的碳和碳氫化合物的分解物可化合成可揮發(fā)的氣體：二氧化碳和水蒸氣等逸出表面，從而清除了黏附在物體表面上的碳和有機污染物。清洗時，使基板治濕性向上。玻璃基板是以滾輪方式輸送，上方裝置低壓水銀燈產(chǎn)生紫外線照射。玻璃基板所累積紫外線能量愈多，其表面水接觸愈小，成反比關(guān)系。一般STN-LCD制作過程中，需求的玻璃基板累積紫外線能量為300nj/cm2(253.7nm)以上。而彩STN-LCD及彩色濾光片制作過程中，要求的玻璃基板累積紫外線能量600mj/cm2(253.7nm)。 

適用范圍

液晶顯示器件、觸摸屏、半導(dǎo)體硅芯片、集成電路、高精度印制電路板、光學(xué)器件、石英晶體、密封技術(shù)、帶氧化膜的金屬材料

主要材料：ITO玻璃、光學(xué)玻璃、鉻板、掩膜板、拋光石英晶體、硅芯片和帶有氧化膜的金屬等進行精密清洗處理?？梢匀コ酃福河袡C性污垢、人體皮脂、化妝品油脂、樹脂添加劑及聚酰亞胺、石蠟、松香、潤滑油、殘余的光刻膠等

使用紫外線清洗時要注意以下幾個方面：（1） 污垢中的無極成分或處理后的灰分會殘留在物體表面，因此需要采用相應(yīng)的辦法進一步清除，如加裝真空除塵或與超聲波干洗配套使用。（2）處理時，當(dāng)清洗對象表面與照射光源距離稍遠時，產(chǎn)生的臭氧會自動分解失去作用，一定要注意清洗表面與光源的距離，也就是注意平臺或傳送帶上工件的高度或厚度。（3）這種處理方法要求紫外線能透過清洗對象表面，對有立體結(jié)構(gòu)的清洗對象不太適合，只能清洗表面結(jié)構(gòu)的物體。（4）由于需防止臭氧擴散對人體造成損害，需要在封閉裝置中進行清洗。（5）由于臭氧是通過氧化反應(yīng)去除污垢的，所以容易被氧化的表面不能用這種方法處理。

1光清洗產(chǎn)品

1-1燈管

SUV90UH-34，SUV90UH-42，SUV90US-43，SUV90UH-43，SUV90UH-52

SUV90UH-88，SUV90US-88，SUV90US-93L，SUV90UH-A0，SUV90UH-A2

SUV90US-53，SUV90UH-53，SUV90US-99，SUV90UH-99

SUV110US-43，SUV110UH-43，SUV110US-88，SUV110UH-88

SUV110US-53，SUV110UH-53，SUV110US-99，SUV110UH-99

EUV200US，EUV200UH，EUV200NS，EUV200NH

SUV110GS-36，EUV200GS-14，SUV110PL-23A，EUV200PL-19

MSW-90，EUV250WH-1L，EUV200US-77，EUV200US-43

SUV110UH-94，SUV110US-59，SUV110US-42，SUV110US-77

SUV110UH-34，SUV110DL-10，SUV90DL-10，SUV40GS-65，SUV40DL-2

筆式燈特種燈

SP-3-2H，SP-3-2L，SP-5-2H，SP-5-2L，SL5DH，SL5UH-4

1-2實驗室小型設(shè)備

PL16-110 ，PL17-110，PL21-200，PM2003

1-3大型生產(chǎn)設(shè)備

1-3-1抽屜式

PM906B，PM908B，PM11010B

1-3-2傳送帶式

PM9020C，PM9010C，PM11010C，PM20036C

1-4安定器/電源

SEU1002B3(200V)，SEU1101B(100V)  HB100A-1，SEU2002SB，SEU2002WB

UVB110(桌上型電源)，UE1101N-19 (PL16用電源)，UVE-200J (PL21用電源)

2光固化產(chǎn)品

2-1普通高壓汞燈

HL100G ，HL400DL ，HL1000DL-15 ，HL2000DL ，HL3000DL

2-1-1手提式

HLR100T-2  ，HLR400T-1 ，HLR400F-21~28 ，HLR1000T-1 ，HLR1000F-21~28

2-1-2桌面式

HCT400B-25/28 HCT1000B-25~28

2-1-3傳送帶式

HCC400B-25/28 HCC1000B-25~28

2-2金鹵燈

HM1500DH-3  HM3000DH-3

2-2-1手提式

MLR1500B-23/28 MLR3000B-23~28

2-2-2桌面式

MCT1500-24/28

2-2-3傳送帶式

HM15001C-2

安定器/電源

2-4電源

HB100A-1 HB100A-2（手提式HLR100T-2電源）

HB400A-5（手提式HLR400T-1用電源）

HB1000A-5(手提式HLR1000T用電源)

3光化學(xué)產(chǎn)品

3-1光化學(xué)燈管

HL100CH-14   HL400BH   HL1000JH   HL1000W   HL2000J

小型準分子照射裝置，準分子清洗機XPL-1502-X

高壓水銀燈HL100、HL1500、HL100G、HL400BH-8、HL4000DL-1

低壓水銀燈UVL6～20、SUV40～110、EUV200、SUV110P、EUV200W、

 紫外線清洗裝置

SEN表面處理裝置XPL1502-X

SEN桌上型光表面處理裝置PL21-200管

SEN桌上型光表面處理裝置PL17-110管

SEN桌上型光表面處理裝置PL16-110管

日本SEN特殊光源清洗機PM20012管

SEN特殊光源PM9018B清洗裝置管

SEN紫外線大型清洗機PM11012管

日本SEN_PM20036C清洗機管

日本SEN_PM11020清洗機管

紫外線清洗燈

日本SEN UV紫外線燈管EUV200U管

日本SEN SUV90US-88紫外線清洗燈管

日本SEN SUV90US-51/UV紫外線燈管

日本SEN紫外線清洗燈EUV200WH-47管

日本SEN清洗燈 EUV200GS-51管

日本SEN紫外線清洗燈EUV200NS-40管

日本SEN SUV90U紫外線UV光清洗燈管

日本SEN UV清洗燈SUV110PL-23A管

SEN特殊光源EUV200NS-36紫外線清洗燈管

SEN特殊光源 清洗燈EUV200NS-35管

日本SEN紫外線清洗燈EUV200US-77管

紫外線固化燈

SEN日本HL2000DL紫外線UV固化燈管

日本SEN紫外線UV固化燈HM3000DH管

日本SEN紫外線固化燈HM1500DH管

日本SEN HL3000DL/HL3000DH固化燈管

SEN日本HL3000J紫外線UV固化燈管

日本SEN紫外線固化燈HL2000JH管

日本SEN紫外線固化燈HL1000JH管

日本SEN HL400BH固化燈管

SEN日本HL100G紫外線UV固化燈管

日本SEN紫外線固化燈HL400JH管

SEN紫外線固化燈HL400DL特殊光源管

SEN LIGHTS紫外線固化燈HL100J管

光化學(xué)/陰冷極燈

特殊光源SEN SP-5-2L冷陰極燈管

SEN冷陰極筆式燈SL10UH管

SEN冷陰極筆式燈SL8UH，SL8UH管

日本SEN冷陰極筆式燈SL5UH管

日本SEN冷陰極筆式燈SL5DH管

日本SEN冷陰極筆式燈SL4UH管

日本SEN冷陰極筆式燈SL2UH管

SEN冷陰極筆式燈（特種）SP-5-2H管

SEN SP-3-2L冷陰極筆式燈（新品）管

日本SEN冷陰極筆式燈SP-3-2H管

紫外線殺菌燈

日本SEN紫外線殺菌燈SUV110DL管

日本SEN紫外線殺菌燈SUV110DH管

日本SEN紫外線殺菌燈SUV90DL管

日本SEN紫外線殺菌燈 SUV90DH管

日本SEN紫外線殺菌燈SUV70DH/SUV70DL管

日本SEN紫外線殺菌燈SUV40DL管

日本SEN紫外線殺菌燈SUV40DH管

日本SEN紫外線殺菌燈UVL20DL，UVL20DL管

日本SEN紫外線殺菌燈UVL20DH管

日本SEN紫外線殺菌燈UVL15DL管

日森SEN紫外線殺菌燈UVL15DH管

日本SEN紫外線殺菌燈UVL10DH管

安定器/電源

SEN安定器/電源REHL-40100B1-SR（特殊制品）管

SEN安定器/電源_ME3000C管

SEN安定器/電源_ME3000A-3管

SEN安定器/電源_MB3000C管

SEN安定器/電源_MB3000T-3管

SEN安定器/電源_MB3000A-3管

SEN低壓水銀燈安定器/電源MB1500T-3管

SEN安定器/電源_MB1500T管

SEN安定器/電源_MB1500A-3管

SEN電源_HB1000A-3(HLR1000F-21用電源)管

SEN_電源HB400A-1（手提式HLR400F-21用電源）管

SEN電源_HB100A-2（手提式HLR100T-2電源）管

SEN電源HB100A-1（手提式HLR100T-2用電源）管

SEN低壓汞燈安定器/電源_HE3000C管

SEN低壓汞燈安定器/電源_HB3000E管

SEN低壓汞燈安定器/電源__HB3000C管

SEN_低壓水銀燈用安定器HB3000A管

日本SEN_安定器/電源HE2000C管

日本_SEN_安定器/電源HB2000E-3管

日本SEN安定器，電源HB2000C管

日本SEN_安定器/電源HB2000A-3管

日本SEN_低壓汞燈安定器/電源HE1000C管

SEN安定器/電源HB1000E-3（日本制造）管

日本SEN_電源HB1000C管

SEN低壓汞燈安定器/電源HB1000A-3管

SEN低壓水銀燈用安定器HB400E-1管

日本SEN_電源HB400A-5管

SEN安定器_電源HB100P管

SEN低壓水銀燈用安定器HB100A-1管

SEN低壓汞燈安定器/電源_SEU2002WB5管

SEN低壓水銀燈用安定器SEU2002SB5管

日本SEN低壓水銀燈用安定器SEU1102B3管

日本SEN安定器/電源RA/C1101H1，RB/D1101H1管

SEN安定器/電源C6/5H1/21110-A1

日本SEN電源/安定器REHL-40100A1-SR（特殊制品）管

日本SEN安定器FBAB-21L-US9-PBF（特殊制品）管

日本SEN_FBAB-151L-US9-PBF安定器（特殊品）管

SEN電源/安定器MI1102（特殊型號）管

SEN低壓汞燈安定器/電源UVE-200J (PL21用）管

日本SEN_UE1101N-19 (PL16用電源/安定器)管

SEN_安定器UVB-110(桌上型電源)管

SEN低壓汞燈安定器/電源UE-200管

日本SEN_低壓汞燈安定器/電源UE-110管

日本SEN低壓汞燈安定器/電源UVB-40管

UV固化裝置

SEN特殊光源HLR1000F-21手提式固化機管

HLR1000F-22、HLR1000B-23、HLR1000B-24、HLR1000F-25、HLR1000F-26、HLR1000B-27、HLR1000B-28

SEN特殊光源HLR400B-28手提式固化機管

HLR400F-21、HLR400F-22、HLR400B-23、HLR400B-24、HLR400F-25、HLR400F-26、HLR400B-27

SEN特殊光源HM15001C-2傳送帶式固化機管

SEN特殊光源MCT1500-28桌面式固化機管

SEN特殊光源MCT1500-24桌面式固化機管

SEN特殊光源MLR3000B-28手提式固化機管

SEN特殊光源MLR3000B-23手提式固化機管

SEN特殊光源MLR1500B-28手提式固化機管

SEN特殊光源MLR1500B-23手提式固化機管

SEN特殊光源HCC1000B-28傳送帶式固化機管

SEN特殊光源HCC1000B-25傳送帶式固化機管

SEN特殊光源HCC400B-28傳送帶式固化機管

SEN特殊光源HCC400B-25傳送帶式固化機管

SEN特殊光源HCT1000B-28桌面式固化機管

電源HE-100C(S)、

SEN特殊光源HCT400B-25桌面式固化機管

電源HB1000E-3

SEN特殊光源HLR1000T-1手提式固化機管

HLR1000T-21、HLR1000T-22、HLR1000T-23、HLR1000T-24、HLR1000T-25、HLR1000T-26、HLR1000T-27、HLR1000T-28、

SEN特殊光源HLR400T-1手提式固化機管

SEN特殊光源HLR100T-2固化裝置（手提式）管