搭載液體質(zhì)流傳感器并內(nèi)置壓電控制閥的高性能數(shù)字通訊液體質(zhì)流控制器。

該產(chǎn)品標(biāo)配液體用流量傳感器與高性能壓電控制閥。通過使用液體質(zhì)流傳感器測量當(dāng)前流量，并反饋控制壓電閥的開度，從而實(shí)現(xiàn)高速的且自動地控制液體質(zhì)量流量。

通過使用液體質(zhì)量流量傳感器測量電流質(zhì)量流量并反饋控制壓電閥的打開，可以高速自動控制液體質(zhì)量流量。

　　　　LC-3000L

特點(diǎn)

• 微小流量液體控制

• 精度范圍±1%F.S.

• 無塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）

• RS-485數(shù)字通訊接口

使用范例

無脈動的微小流量連續(xù)控制

計(jì)量泵是一種方便的產(chǎn)品，可以流動一定量的液體，但它具有引起脈沖的運(yùn)動部件。采用LINTEC的液體質(zhì)量流量控制器，若以適當(dāng)且恒定的壓力加壓，則可實(shí)現(xiàn)無脈沖且穩(wěn)定的流量控制。

輸出端為真空設(shè)備下的液體控制

如果輸出端處于真空條件下，用容積式控制器測量液體會逸出，從而難以控制流速。LINTEC的液體質(zhì)流控制器（LC-3000系列）集成了控制閥和質(zhì)流傳感器，不受輸出端壓力影響，可在適當(dāng)?shù)膲翰顥l件下控制流量。

規(guī)格表

※此表僅表示一般規(guī)格的液體用MFC。
※F.S.根據(jù)液體種類不同而變化。詳細(xì)請咨詢LINTEC。

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