中小型等離子清洗機(jī)PLUTO-30

價(jià)格
¥189,999.00

型號(hào)
PLUTO-30

品牌
PLUTOVAC

所在地
上海市 浦東新區(qū)

更新時(shí)間
2023-12-10 21:50:02

瀏覽次數(shù)

    PLUTO-30 等離子清洗機(jī)/等離子表面處理系統(tǒng)


    中小型 量產(chǎn)級(jí) 多功能


    Pluto30等離子清洗機(jī)是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置,可配置成RIEPECVD模式,從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍,提供給用戶*的靈活性。

    中小型等離子清洗機(jī)PLUTO-30


    Pluto30參數(shù)

    腔體

    腔體尺寸

    300W x 280H x 366Dmm

    容量

    30L

    電極數(shù)量

    多達(dá)7

    電極

    電極間隙

    48mm

    功率電極尺寸

    226W x 210D mm

    接地電極尺寸

    260W x 210D mm

    射頻系統(tǒng)

    射頻功率和頻率

    300W/13.56MHz

    氣體控制

    MFC控制器

    標(biāo)配1個(gè)MFC,可選配4個(gè)MFC控制器

    系統(tǒng)控制

    7寸工業(yè)觸控屏

    全數(shù)字控制,實(shí)時(shí)顯示工作狀況,可設(shè)定操作權(quán)限和各種報(bào)警值,可儲(chǔ)存工藝方案

    真空泵系統(tǒng)

    油泵

    32m3/h

    功率

    220V/10A50Hz,單相,3

    尺寸

    外形尺寸

    706W x 804D x 735H mm

    特別裝置

    需求

    工藝氣體

    0.25英寸. 氣管快接.適用于 15-20psig;

    凈化氣

    0.25英寸. 氣管快接. 適用于10-100psig

    CDA

    0.25英寸. 氣管快接. 適用于60-90psig

    排氣接口

    KF40

    可選項(xiàng)

    液體前驅(qū)體輸送系統(tǒng)

    500W/13.56MHz射頻系統(tǒng)

    37m3/h 干泵

    排氣洗滌器

    油霧消除器



    特征及優(yōu)勢(shì)

    氣體輸送系統(tǒng),提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

    不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置

    的射頻系統(tǒng)提供*的工藝重復(fù)性和處理效率

    全自動(dòng)處理能力

    圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動(dòng)流程并提供實(shí)時(shí)流程信息

    臺(tái)式設(shè)計(jì)需要較小的占地面積



    典型應(yīng)用

    表面活化

    提高表面能量以提高材料粘合性:預(yù)壓模粘合;預(yù)焊線粘合

    增強(qiáng)表面膠體流動(dòng)性:預(yù)成型;預(yù)倒裝芯片下溢


    表面粗糙度和蝕刻

    降低表面應(yīng)力,改善表面粘結(jié)性

    灰化和表面清潔

    Plasma等離子蝕刻(配備RIE配置)

    電介質(zhì)/III-IV材料

    納米涂層(配備液體前體輸送裝置)

    防腐納米涂層:醫(yī)療器械,醫(yī)療植入物

    耐水納米涂層:印刷電路板表面處理




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