質(zhì)子浮子流量計PECVD等離子化學(xué)沉積實驗鍍膜高溫爐

價格
¥128,000.00

型號
PECVD

品牌
南陽鑫宇爐業(yè)

所在地
暫無

更新時間
2023-07-24 18:15:01

瀏覽次數(shù)

     廣泛應(yīng)用于企事業(yè)單位科研和小批量生產(chǎn),以及??蒲薪虒W(xué)中涉及到的陶瓷,冶金,電子,玻璃,化工,機(jī)械,耐火材料,新材料開發(fā),特種材料,建材領(lǐng)域。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD), 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。管式爐采用高石英管或高純氧化鋁剛玉管作為爐管,爐管設(shè)計有平置安裝,。溫區(qū)設(shè)計有單溫區(qū),雙溫區(qū),三溫區(qū),五溫區(qū)等。

     

    1、數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5至 1125Torr.不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

    2、內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確的控制氣體流量。

    3、氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%。

    4、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。

    5、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入。質(zhì)子浮子流量計PECVD等離子化學(xué)沉積實驗鍍膜高溫爐質(zhì)子浮子流量計PECVD等離子化學(xué)沉積實驗鍍膜高溫爐質(zhì)子浮子流量計PECVD等離子化學(xué)沉積實驗鍍膜高溫爐

     

     

     


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