價(jià)格
￥37,000.00
型號(hào)
KT-Z1650CVD
品牌
KT
所在地
廣東省 深圳市
更新時(shí)間
2021-08-05 23:04:58
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京公網(wǎng)安備 11010802023672號(hào)
KT-Z1650CVD是一款小型臺(tái)式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全，配備有電壓電流反饋，樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié)，及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
技術(shù)參數(shù)
控制方式
7寸人機(jī)界面手動(dòng)自動(dòng)模式切換控制
加熱方式
數(shù)字式功率調(diào)整器
鍍膜功能
0-999秒，5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
*功率
≤1200 W
*輸出電壓電流
電壓≤12 V，電流≤120 A
真空度
機(jī)械泵≤5 Pa(5分鐘)，分子泵≤10^-3 Pa
擋板類型
電控
真空腔室
石英+不銹鋼腔體 Φ160 mmx160 mm
樣品臺(tái)
可旋轉(zhuǎn)Φ62 mm，(*可安裝Φ50基底)
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速
8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離
70-140 mm
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)
≤1800 ℃
支持蒸發(fā)坩堝類型
鎢絲籃、帶坩堝鎢絲籃、鎢舟、炭繩
預(yù)留真空接口
KF25抽氣口，KF16真空計(jì)接口，KF16放氣口，6mm卡套進(jìn)氣口
可選配擴(kuò)展
機(jī)械真空泵(可抽真空5分鐘<5 Pa)
數(shù)顯真空計(jì)(測(cè)量范圍大氣壓到0.1 Pa)
分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3 Pa)