共聚焦顯微鏡HSR-8000可對待測物的表面進行非接觸式三維形貌掃描,獲取2D/3D表面形貌、分析微觀輪廓幾何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等參數(shù)指標,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT/四大國內外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
1、高精度、高重復性
采用針孔,共聚焦光學系統(tǒng)、高穩(wěn)定性結構設計、優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)保證測量精度高;
2、一體化操作的測量分析軟件
1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,實現(xiàn)了快速批量測量的功能;
2) 可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;
3)結合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程;
4)幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;
5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能;
6) 可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數(shù)。
技術參數(shù):
測量原理
針孔共聚焦光學系統(tǒng)
顯微物鏡
10x,20x,50x,100x
視場范圍
120x120?~1.2x1.2 mm
掃描幀率
≥4HZ
高度測量
重復性*1
20nm
精度*1
±(0.2+L/100)?
顯示分辨率
0.5nm
寬度測量
重復性*2
40nm
精度*2
2%
Inm
XY位移平臺
尺寸
200×200mm
移動范圍
100×100mm
負載
10kg
控制方式
電動
Z0軸掃指
范圍
10mm
Z0軸掃描步長
20nm-150nm
Z向移動范圍
100mm
物鏡塔臺
5孔電動
光源
白光LED
外形尺寸
540*379*594mm
重量
45kg
工作電源
AC 220V/50HZ
工作環(huán)境
溫度10°C~35°C,溫度梯度<1°C/15分鐘,濕度30-80%振動<0.002g,低于15Hz
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共聚焦顯微鏡HSR-8000可對待測物的表面進行非接觸式三維形貌掃描,獲取2D/3D表面形貌、分析微觀輪廓幾何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等參數(shù)指標,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT/四大國內外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
1、高精度、高重復性
采用針孔,共聚焦光學系統(tǒng)、高穩(wěn)定性結構設計、優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)保證測量精度高;
2、一體化操作的測量分析軟件
1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,實現(xiàn)了快速批量測量的功能;
2) 可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;
3)結合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程;
4)幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;
5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能;
6) 可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數(shù)。
技術參數(shù):
測量原理
針孔共聚焦光學系統(tǒng)
顯微物鏡
10x,20x,50x,100x
視場范圍
120x120?~1.2x1.2 mm
掃描幀率
≥4HZ
高度測量
重復性*1
20nm
精度*1
±(0.2+L/100)?
顯示分辨率
0.5nm
寬度測量
重復性*2
40nm
精度*2
2%
顯示分辨率
Inm
XY位移平臺
尺寸
200×200mm
移動范圍
100×100mm
負載
10kg
控制方式
電動
Z0軸掃指
范圍
10mm
Z0軸掃描步長
20nm-150nm
Z向移動范圍
100mm
物鏡塔臺
5孔電動
光源
白光LED
外形尺寸
540*379*594mm
重量
45kg
工作電源
AC 220V/50HZ
工作環(huán)境
溫度10°C~35°C,溫度梯度<1°C/15分鐘,濕度30-80%振動<0.002g,低于15Hz