紫外光UV清洗原理
紫外線清洗是是利用有機化合物的光敏氧化作用達到去除附著在材料表面的有機物質。經過光清洗后的材料表面可以達到原子級清潔度。
其主要原理為紫外線燈發(fā)出的185nm波長和254nm波長具有很高的能量,高于大多數有機物的結合能量。由于大多數碳氫化合物對185nm波長的紫外線具有較強的吸收能力,并且可以在吸收185nm波長后分解成離子,流離態(tài)原子,受激分子和中子等,這就是光敏作用。空氣中的氧分子在吸收了185nm波長的紫外光后,會產生臭氧和氧氣,臭氧對254nm波長具有很強的吸收性,臭氧有可以分解為氧原子和氧氣。氧原子具有極強的氧化性,可以將碳氫化合鍵切斷,生成水和二氧化碳等易揮發(fā)氣體,從被照射物表面飄逸出,清除物體表面的污染物。
應 用
紫外線UV光清洗技術的應用范圍:
1.各種材料(ITO玻璃,光學玻璃,鉻板,掩膜版,拋光石英晶體,硅)晶片和帶有氧化膜的金屬等進行精密清洗處理;
2.清除石臘,松香,油脂,人體體油以及殘余的光刻膠/聚酰亞胺和環(huán)氧樹脂
3.高精度PCB焊接前的清洗和去除殘余的焊劑以及敷銅箔層壓板的表面清潔和氧化層生成;
4.高真空密封技術和熱壓焊接前的表面清潔處理以及各種微型元件的清洗
5。在LCD、OLED, Touch Panel科研/生產中,在涂光刻膠、PI膠、定向膜、鉻膜、色膜前經過光清洗,可以極大的提高基體表面潤濕性,增強基體表面的粘合力;
6。印制電路板生產中,對銅底板,印刷底板進行光清洗和改質,在導線焊接前進行光清洗,可以提高熔焊的接觸面積,大大增加連接強度。特別是高精度印制電路板,當線距達到亞微米級時,光清洗可輕易地去除在線距之間很小的微粒,可以大大提高印制電路板的質量。
7。大規(guī)模集成電路的密度越來越高,晶格的微細化越來越密,要求表面的潔凈度越來越高,光清洗可以有效地實現表面的原子清潔度,而且對芯片表面不會造成損傷。
8。在半導體生產中,硅晶片涂保護膜、鋁蒸發(fā)膜前進行光清洗,可以提高粘合力,防止針孔、裂縫的發(fā)生
9。在光盤的生產中,沉積各種膜前作光清洗準備,可以提高光盤的質量。
10。磁頭固定面的粘合,磁頭涂敷,以及提高金屬絲的連接強度,光清洗后效果好。
11。石英晶體振蕩器生產中,除去晶體檢測后涂層上的墨跡,晶體在銀蒸發(fā)沉積前,進行光清洗可以提高鍍膜質量和產品性能。
12。在IC卡表面插裝ROM前,經過光清洗可提高產品質量。
13。彩色濾光片生產中,光清洗后能洗凈表面的有機污染物。
14。敷銅箔層壓板生產中,經過光照改質,不僅表面潔凈而且表面形成十分均勻的保護氧化層,產品質量顯著提高
15。光學玻璃經過紫外光清洗后,鍍膜質量更好。
16。樹脂透鏡光照后,能加強與防反射板的粘貼性。
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采用200瓦U型清洗燈36燈設計
使用燈管:EUV200US-88
照射面積:1000x1000MM
照射距離:17.5~50MM
可處理面積:1000x1000MM, 1000x3000mm
電 壓:3項,200V
電 流:3A
功 率:3870W
冷卻方法:水冷
傳送帶速度:可調
UV清洗機規(guī)格資料表:
紫外光UV清洗原理
紫外線清洗是是利用有機化合物的光敏氧化作用達到去除附著在材料表面的有機物質。經過光清洗后的材料表面可以達到原子級清潔度。
其主要原理為紫外線燈發(fā)出的185nm波長和254nm波長具有很高的能量,高于大多數有機物的結合能量。由于大多數碳氫化合物對185nm波長的紫外線具有較強的吸收能力,并且可以在吸收185nm波長后分解成離子,流離態(tài)原子,受激分子和中子等,這就是光敏作用。空氣中的氧分子在吸收了185nm波長的紫外光后,會產生臭氧和氧氣,臭氧對254nm波長具有很強的吸收性,臭氧有可以分解為氧原子和氧氣。氧原子具有極強的氧化性,可以將碳氫化合鍵切斷,生成水和二氧化碳等易揮發(fā)氣體,從被照射物表面飄逸出,清除物體表面的污染物。
應 用
紫外線UV光清洗技術的應用范圍:
1.各種材料(ITO玻璃,光學玻璃,鉻板,掩膜版,拋光石英晶體,硅)晶片和帶有氧化膜的金屬等進行精密清洗處理;
2.清除石臘,松香,油脂,人體體油以及殘余的光刻膠/聚酰亞胺和環(huán)氧樹脂
3.高精度PCB焊接前的清洗和去除殘余的焊劑以及敷銅箔層壓板的表面清潔和氧化層生成;
4.高真空密封技術和熱壓焊接前的表面清潔處理以及各種微型元件的清洗
5。在LCD、OLED, Touch Panel科研/生產中,在涂光刻膠、PI膠、定向膜、鉻膜、色膜前經過光清洗,可以極大的提高基體表面潤濕性,增強基體表面的粘合力;
6。印制電路板生產中,對銅底板,印刷底板進行光清洗和改質,在導線焊接前進行光清洗,可以提高熔焊的接觸面積,大大增加連接強度。特別是高精度印制電路板,當線距達到亞微米級時,光清洗可輕易地去除在線距之間很小的微粒,可以大大提高印制電路板的質量。
7。大規(guī)模集成電路的密度越來越高,晶格的微細化越來越密,要求表面的潔凈度越來越高,光清洗可以有效地實現表面的原子清潔度,而且對芯片表面不會造成損傷。
8。在半導體生產中,硅晶片涂保護膜、鋁蒸發(fā)膜前進行光清洗,可以提高粘合力,防止針孔、裂縫的發(fā)生
9。在光盤的生產中,沉積各種膜前作光清洗準備,可以提高光盤的質量。
10。磁頭固定面的粘合,磁頭涂敷,以及提高金屬絲的連接強度,光清洗后效果好。
11。石英晶體振蕩器生產中,除去晶體檢測后涂層上的墨跡,晶體在銀蒸發(fā)沉積前,進行光清洗可以提高鍍膜質量和產品性能。
12。在IC卡表面插裝ROM前,經過光清洗可提高產品質量。
13。彩色濾光片生產中,光清洗后能洗凈表面的有機污染物。
14。敷銅箔層壓板生產中,經過光照改質,不僅表面潔凈而且表面形成十分均勻的保護氧化層,產品質量顯著提高
15。光學玻璃經過紫外光清洗后,鍍膜質量更好。
16。樹脂透鏡光照后,能加強與防反射板的粘貼性。